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  EX-610FPA FPC全自动平等光曝光机
EX610FRA for FPC Automatic Collimate Exposure Machine
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     技术参数　Techine data
电力

380V/220V 3相 50/60HZ
有效面积 610×610mm，（其它尺寸可订做）
使用光源 超高压5KW水银灯管1支
灯管冷却方式 气冷
台面均匀度 90%以上
视准半角 1.5°以内
偏差角 1.5°以内
机械结构 使用CCD自动对位
最小分解度 约0.2um/PLS
整合精度 ±15цm
移动量 ±4mm
机台外形尺寸 2665W×5400L×2300H mm
用气量 4kg/cm2

Power 380V/220V 3P 50/60Hz
Efficient area 610×610mm
UV light source 5KW Mercury Lamp×1pc
Lamp Cooling system Compressed Air
Uniformity Up 90%
Collimate half angle Less 1.50
Declination angle Less 1.50
Mechanical system CCD alignment
Resolution 0.2um/PLS
Movement ±4mm
Alignment tolerance ±15цm
Dimension 2665W×5400L×2300Hmm
Air consumption

4kg/cm2
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