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EX-300HS自动对位平行光曝光机
EX-300HS CCD Auto-alignment Exposure Machine |
| 用途 |
IC，陶瓷板，BGA，HDI，LCD，12"晶片基板 |
| 电力 |
380/220V 3相 50/60HZ |
| 有效面积 |
150mm×150mm~ 300mm×300mm （尺寸可订做） |
| 光源系统 |
采用进品1KW水银灯管1支（功率大小可订做） |
| 灯管冷却方式 |
气冷 |
| 操作方式 |
采用工业电脑搭配伺服马达 |
| 基板厚度 |
0.1~2mm（其它尺寸可依客户订做） |
| 台面均匀度 |
90%以上 |
| 校准半角 |
约1° 偏差角：1° |
| 最小分解度 |
约0.2um/PLS |
| 移动量 |
±4mm |
| 自动校正系统 |
CCD侦测头*4台 监视器*2台 |
| 排气量 |
3m3/min |
| 压缩空气 |
0.6mpa |
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| Application |
IC board,BGA,HDI,LCD,12"Silicon wafer |
| Power |
AC 380/220V, 3ф,50/60Hz |
| Efficient area |
150mm×150mm~ 300mm×300mm |
| UV Light source |
1KW mercury Lamp |
| Lamp Cooling system |
Compressed Air |
| Driving system |
Industrial computer control servo motor |
| Board thickness |
0.1~2mm |
| Uniformity |
Up 90% |
| Collimate half angle |
Less 1° Declination angle: Less 1° |
| Resolution |
0.2um/PLS |
| CCD movement |
±4mm |
| Auto-alignment system |
CCD×4sets Display screen×2sets |
| Exhausted air |
3m3/min |
| Compressed air |
0.6mpa |
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