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EX-610SHM 高精度平行光曝光机
EX-610SHM Hi-precision Collimate  Exposure Machine
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     技术参数　Techine data
电力 AC220V/380V 3相 50/60HZ 100A/75A
有效曝光面积 610mm*610mm
光源系统 采用日本进口5R球形灯管1支
框架与传动系统 采用不锈钢框架，传动采用气动式减少灰尘（比
  较其它采用马达带动链条机械的磨合产生灰尘）
视准平角 在1.5°以内
偏差角度 在1.5°以内
强度 20mw/cm2
台面均匀性 90%以上
灯管冷却方式 采用风冷式
外接空气 5kg/cm2
外接排气 50NL/min

EX-610SHM Hi-precision Collimate Exposure Machine
Power AC220V/380V 3Φ 50/60Hz 100A/75A
Efficient Area 610×610mm
Light source 5R Lamp×1pc
Frame and transportation Stainless steel outside energy saving
  system with cylinder driving system
Collimated half Angle Less 1.5°
Declination Angle Less 1.5°
UV light energy 20mw/cm2
Uniformity Up 90%
Lamp cooling system Compressed cooling air
Compressed air 5kg/cm2
Exhausted air

50NL/min
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